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MEMS一氧化碳氣體傳感器

MEMS一氧化碳氣體傳感器是精訊暢通基于MEMS工藝而研發(fā)的CO傳感器。MEMS一氧化碳氣體傳感器利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板,采用在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為氣敏材料,對一氧化碳氣體的靈敏度高。該一氧化碳傳感器具有體積小、抗震性好、壽命長、穩(wěn)定性好等特點。

產(chǎn)品介紹:

MEMS一氧化碳氣體傳感器是精訊暢通基于MEMS工藝而研發(fā)的CO傳感器。MEMS一氧化碳氣體傳感器利用MEMS工藝在SI基襯底上制作微熱板,采用在清潔空氣中電導(dǎo)率較低的金屬氧化物半導(dǎo)體材料作為氣敏材料,對一氧化碳氣體的靈敏度高。該一氧化碳傳感器具有體積小、抗震性好、壽命長、穩(wěn)定性好等特點。

產(chǎn)品參數(shù):

檢測氣體:一氧化碳

CO檢測范圍:0-500ppm

回路電壓Vc:≤24V DC

加熱電壓VH:2.5V土0.1V AVorDC

負載電阻RL:可調(diào)

加熱電阻RH:800+200 (室溫)

加熱功耗PH:≤80mW

敏感體電阻Rs:1KQ~30KQ

靈敏度S:RO/RS≥2

濃度斜率a:≤0.9

溫度:20°C士2°C

濕度:55%RH士5%RH

標(biāo)準(zhǔn)測試電路:VH:2. 8V士0.1V VC:5.0V士0.1V

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